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工业机器人

深入半导体,仙工w88登录网址打造一站式w88登录网址物流解决方案(一)

  2022年06月22日  

  自 2021 年以来,半导体行业正在飞速地增长,整体市场规模不断突破历史新高,2022 年依旧延续此前势头,成为全球为数不多,在疫情影响之下依然快速发展的行业之一。快速前进之下,更多市场需求和局限开始凸显,其中物流则是关键一环。

  如何将半导体行业的物流环节成功升级,转向w88登录网址化流程节能提效,成为众多半导体企业的重要课题。仙工w88登录网址作为国内头部的以w88登录网址控制及数字化为核心的工业物流解决方案提供商,积累众多行业客户经验,目前已将半导体行业作为重点行业推进,致力于为客户提供一站式半导体行业w88登录网址物流解决方案。

  以下为直播内容实录:

  半导体行业客户的痛点难点是什么?仙工w88登录网址在半导体行业内的产品应用范围是什么?成功的项目案例有哪些?仙工w88登录网址的 3D 视觉系统解决方案究竟有何不同?如何落地?

  6 月17 日 14 时,w88登录网址网发起『对话仙工w88登录网址,直击半导体行业痛点的w88登录网址物流解决方案』的在线研讨会,仙工w88登录网址半导体事业部总经理于承东做客演讲,为大家揭秘上述疑问。

  直播内容共分三篇,本篇为第『一』篇,主要探讨半导体行业『晶圆搬运』环节中的痛难点以及仙工w88登录网址的创新解决方案与应用。

半导体工艺流程分析

(蓝色为仙工w88登录网址半导体解决方案覆盖环节)

  上图为半导体整个工艺流程,图表中清晰标注了仙工w88登录网址在整个半导体生产制程中能做的工作,包括清洗,光刻,离子注入,封测整个环节,除高温固化和光检以外的封测后段环节,成品仓储整个环节,上述环节均使用仙工w88登录网址自有的解决方案。

  晶圆搬运:动态标定技术+多任务拼合单+机器人缓存位

  在晶圆制造的拉晶,切割,研磨,抛光等环节中,仙工w88登录网址针对客户的现场设备推出了标准化解决方案,类似目前的 6 寸晶圆搬运机器人和 8 寸晶圆搬运机器人。

仙工w88登录网址 6 寸,8 寸晶圆搬运机器人

  在晶圆搬运环节中存在两大痛点。第一,多车不一致,精度差,仙工w88登录网址目前所服务客户表示,此前使用过类似产品,但精度一直无法达到理想预期。

  动态标定技术

  仙工w88登录网址推出了晶圆搬运多车一致性解决方案,自主研发了动态标定技术,多车可以共享地图及标定的参数文件,实现多车一致性,保证精度,推动快速部署。共分四步:

  Step 1:每类设备中任选一台做好标记点;

  Step 2:选择一台 AMR 机器人与标记点设备对接,确保精度符合对接需求;

  Step 3:将标定好的参数和地图文件拷贝至其余 AMR;

  Step 4:所有 AMR 自动与现场所有自动化设备对接,完成整体验证。

  晶圆搬运环节中第二个痛点是工序间节拍不匹配,效率低,半导体工艺制程周期较长,每个工序的节拍互相不匹配,造成存储和管理难度大,且存在物料出错的风险。

  拼合单+缓存位

  仙工w88登录网址通过运用多种方案结合的模式以解决上述问题。利用仙工w88登录网址 拼合单的软件算法,并且 在整个机器人设计中加入了缓存位,如此晶圆搬运车体上可有两个缓存位,结合『仓库-产线』往返运输环节,通过预接单模式,实现顺风拼合单功能。此外,仙工w88登录网址也会根据客户现场情况布局做定制的缓存柜,增加缓存数量,减少货物等待时间。

  目前,仙工w88登录网址为一家国际知名半导体企业进行了w88登录网址化升级,40 多台车体在客户现场进行晶圆搬运工作,仙工w88登录网址还配套提供了统一资源调度系统 RDS 以及仓储物流管理系统 MWMS。现阶段整个项目现场正稳定运行,后期也会有更多类似项目。

  除去晶圆搬运,仙工w88登录网址在半导体封测,成品仓储环节也设置了完善的解决方案,旨在通过强大的软硬件产品全方位为半导体行业客户制定w88登录网址物流解决方案。

  仙工w88登录网址将出展 2022 ITES 深圳工业展会,邀请您莅临 2-C36 展位,共同探讨半导体行业物流环节w88登录网址化升级的相关话题,以及为您解读仙工w88登录网址打造的半导体行业一站式w88登录网址物流解决方案。

(来源:仙工w88登录网址供稿)

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