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电子元件

西克:半导体加工行业应用案例分享

  2022年03月03日  

  纵观半导体设备的发展历史,不难发现半导体设备紧随全球芯片制造中心而不断东移:从70-80年代的美国,到80-90年代的日本,再到90年代后期的中国台湾与韩国。

  随着中国高端制造技术的不断发展,与本身庞大的市场需求相互帮衬,未来十年,中国有望成为半导体芯片制造的全球中心。

  目前,在国家重大科技专项的支持下,集成电路主要工艺设备如PVD,PECVD,CMP,介质刻蚀机,CMP等技术均有显著提升。而IC晶圆生产线的设备国产化率也在不断提高。设备技术的提升也拉高了对光学传感器性能的需求。除了对精度,稳定性等性能要达到极高的标准外,传感器也被要求实现更多的检测任务。

  作为有着超过75年历史的工业传感器领先生产厂商,SICK具有深厚的技术积累,丰富的产品种类,可以为半导体设备厂商提供更多样的产品,更优异的性能以及更专业的服务。

1,硅板厚度测量

  产品系列:OD5000位移测量传感器

  订货号:6063621

  客户应用:

  太阳能硅片分选机,客户需求在皮带输送线上检测硅片的厚度,精度要求为2um

  采用2*OD5000-C30T05上下组合方式,来测量硅片的厚度

  客户利用上位机接受数据做算法处理,判定硅片的规格

  客户受益:

  双头侧厚,通过以太网接口和集成在传感器内部评价单元,无需额外控制器计算

  高达80kHZ测量频率,准确测量微小变化

  激光定位更加柔性,可视觉,产品定位精度更高

  实时在线测量,相对于线激光方案,节省成本,精度更高

2,石英载具到位检测

  产品系列:WTF12G

  订货号:1065719

  客户应用:

  石英载具装载硅片进行热处理,涂层等一系列工艺流程。

  需要对半透明石英载具进行稳定到位检测,由于热处理中温度较高,无法安装反射板,只能选择漫反射。

  检测距离较远,无法使用V镜头光电传感器。

  客户受益:

  WTF12G是漫反射前景抑制型原理,无需反射板,只需对背景进行示教即可

  可以稳定地检测透明,半透明等物体

  检测距离可达700mm

3,硅片检测:

  产品系列:G2F,WTV4FE

  WTV4FE订货号:1105444

  GTB2F订货号:1093737

  客户应用:

  检测硅片的到位与有无,硅片表面光学性能特殊,普通漫反射光电很难稳定检测

  安装空间十分有限,需要迷你型尺寸光电

  无法安装镜反射与对射型光电

  客户受益:

  G2F扁平型外观设计,可以安装在狭小的空间中

  独特的V型镜头设计,可稳定检测高反光,透明薄膜,深黑色吸光平面。

  WTV4FE可进行旋按式示教,V镜头检测距离增加至50mm

  产品系列:WTT4SLC

  订货号:1097190

  应用需求要点:

  检测距离400-500mm

  检测边缘,客户需要光斑尽可能小

  安装位置有限制,只能接受漫反射光电

  客户受益:

  WTT4SLC时间飞行原理,可稳定从倾斜角度或侧面检测带有弧度的物体,并且不受物体表面颜色和材质的影响

  具有优异的背景抑制性能,可稳定屏蔽背景干扰

  漫反射检测,最远可达到1.3m检测距离

  光斑聚拢,4mm(1m),可以从侧面检测薄片边缘

4,Roller(输送轮)粗糙度区分:

  产品系列:Glare系列光泽度传感器

  应用需求要点:

  现场面板传输设备运输基板一段时间后,基板与Roller摩擦导致Roller表面光滑,失去输送力。

  不同摩擦情况不同导致基板受力不均匀,造成良率下降,稼动率降低,客户使用Glare光泽度传感器对Roller表面粗糙程度进行检测。

  客户受益:

  原本客户解决方法为工作人员定期停机检查,使用自制比对卡进行人眼对比观察。

  使用Glare光泽传感器后客户受益如下:

  降低检测误差

  减少检查时间

  节省人力资源

标签:西克  IC  我要反馈
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